GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行

标准号：GB/T 37049-2018
中文标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/12/28 12:00:00
实施日期：2019/4/1 12:00:00
中国标准分类号：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
国际标准分类号：77.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司
起草人：鲁文锋
相近标准：20141873-T-469  电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法;20210891-T-469