标准号:20051092-T-469
中文标准名称:电子工业用气体 三氟化氮
英文标准名称:Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:中国船舶重工集团公司第七一八研究所
国际标准分类号:71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:湖北沙隆达天门农化有限责任公司
起草人:余启富
相近标准:GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮; 电子工业用气体 三氟化氮;20110735-T-469 电子工
标准制修订:制订