20065622-T-469 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 已发布

标准号：20065622-T-469
中文标准名称：硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
英文标准名称：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司
起草人：卢立延
相近标准：GB/T 13387-2009  硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法;GB/T 13387-1992  电子材料晶片参考面长
标准制修订：修订