20062373-T-469 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 已发布

标准号：20062373-T-469
中文标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文标准名称：Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
起草人：江莉
相近标准：GB/T 14144-1993  硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法;GB/T 14144-2009  硅晶体中间隙氧含量径向变
标准制修订：修订