标准号:GB/T 30652-2014
中文标准名称:硅外延用三氯氢硅
英文标准名称:Trichlorosilane for silicon epitaxial
标准类型:H83
发布日期:2014/12/31 12:00:00
实施日期:2015/9/1 12:00:00
中国标准分类号:H83
国际标准分类号:29.045
引用标准:GB 190;GB/T 191;GB 16483;GB 28654;GB/T 29056;YS/T 987;国务院令第591号 危险化学品安全管理条例
适用范围:本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl