标准号:GB/T 7774-2007
中文标准名称:真空技术.涡轮分子泵性能参数的测量
英文标准名称:Vacuum technology.Turbomolecular pumps.Measurement of performance characteristics
标准类型:J78
发布日期:2007/12/2 12:00:00
实施日期:2008/6/1 12:00:00
中国标准分类号:J78
国际标准分类号:23.160
引用标准:ISO 3529-2
适用范围: 本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法,它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括: a) 带机械或磁轴承的; b)带或不带附加牵引级的。 注:由于涡轮分子泵需要前级泵支持,下列曲线将作为对体积流率-入口压力的曲线补充,以完全确定其性能: —流量曲线; —压缩比曲线; —入口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体