GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 29190-2012
中文标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
英文标准名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
标准类型：N33;A60
发布日期：2012/12/31 12:00:00
实施日期：2013/6/1 12:00:00
中国标准分类号：N33;A60
国际标准分类号：17.180.99
引用标准：GB/T 15000.3;JJF 1001;JJF 1059;ISO 18115
适用范围：本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基波方法。本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

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