标准号：GB/T 26250-2010
中文标准名称：电子工业用气体 砷化氢
英文标准名称：Gases for electronic industry.Arsine
标准类型：G86
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB 7144;GB/T 8984;GB/T 11640;GB 14193;GB/T 26571;《气瓶安全监察规程》
适用范围：本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
百检网 2021-07-29
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