标准号：GB/T 15873-1995
中文标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文标准名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
标准类型：L97
发布日期：1995/12/22 12:00:00
实施日期：1996/8/1 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.220.10
适用范围： 本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则
百检网 2021-07-30
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