标准号:BS EN 62276-2016
中文标准名称:表面声波(SAW)装置用单晶薄片.规格和测量方法
英文标准名称:Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications. Specifications and measuring methods
标准类型:L21
发布日期:2016/12/31 12:00:00
实施日期:2016/12/31 12:00:00
中国标准分类号:L21
国际标准分类号:31.140
引用标准:IEC 60758-2016;ISO 2859-1-1989;EN 60758-2016;IEC 60862-1;IEC 60862-2;IEC 60862-3;IEC 61019-1;IEC 61019-2;IEC 61019-3;ISO 4287-1997;ANSI/IEEE Std 176-1987;ASTM F533;SEMI M1-1296;EN 61019-1;EN 61019-2;EN 61019-3;EN ISO 4287-1998