标准号:GB/T 13389-1992
中文标准名称:掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
英文标准名称:Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
标准类型:H21
发布日期:1992/2/19 12:00:00
实施日期:1992/10/1 12:00:00
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:29.040.30
适用范围: 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10