DIN EN 62047-16-2015 A

百检网 2021-07-30

标准号：DIN EN 62047-16-2015
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015
标准状态：A
标准类型：国际标准
发布日期：2015-12-01
国际标准分类号：31.080.01%31.220.01

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