GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法

标准号：GB/T 36176-2018
中文标准名称：真空技术 氦质谱真空检漏方法
英文标准名称：Vacuum technology.Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
标准类型：J78
发布日期：2018/5/14 12:00:00
实施日期：2018/12/1 12:00:00
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
引用标准：GB/T 3163;GB/T 4844;GB/T 9445;GB/T 12604.7;GB/T 13979
适用范围：本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。