GB/T 16945-2009 电子工业用气体.氩

标准号：GB/T 16945-2009
中文标准名称：电子工业用气体.氩
英文标准名称：Gas for electronic industry.Argon
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB/T 3723;GB/T 4842-2006;GB/T 5832.1;GB/T 8984
适用范围：本标准规定了氩的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷却法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。