标准号：GB/T 14140-2009
中文标准名称：硅片直径测量方法
英文标准名称：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
标准类型：H82
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 2828.1-2003;GB/T 6093-2001;GB/T 12964-2003
适用范围：本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测*大直径为∮300mm。不适用于测量硅片的不圆度。
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
百检网 2021-07-31
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