GB/T 16944-2009 电子工业用气体.氮

标准号：GB/T 16944-2009
中文标准名称：电子工业用气体.氮
英文标准名称：Gas for electronic industry.Nitrogen
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB/T 3864-2008;GB 5099-1994;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 14194-2006;GB 16912-2008;JB/T 5905-2000;JB/T 6897-2000;JB/T 6898-1997;气瓶安全监察规程;压力容器安全技术监察规程;压力管道安全管理与监察规定
适用范围：本标准规定了电子工业用气体氮技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。