ASTM F951-1996 测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法

百检网 2021-08-02

标准号：ASTM F951-1996
中文标准名称：测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
英文标准名称：Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers
标准类型：L64
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：L64
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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