标准号:ASTM E1162-1987(2001)
中文标准名称:二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
英文标准名称:Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
标准类型:N34
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:N34
国际标准分类号:71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)