标准号:DIN EN ISO 14644-10-2013
中文标准名称:洁净室和相关控制环境. 第10部分: 采用化学浓度法对表面洁净度的分类(ISO 14644-10-2013); 德文版本EN ISO 14644-10-2013
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013); German version EN ISO 14644-10:2013
标准类型:C47
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:C47
国际标准分类号:13.040.35