标准号:YS/T 1069-2015
中文标准名称:金铍蒸发料
英文标准名称:Gold-beryllium alloy evaporation material
标准类型:H68
发布日期:2015/4/30 12:00:00
实施日期:2015/10/1 12:00:00
中国标准分类号:H68
国际标准分类号:77.150.99
适用范围:本标准规定了金铍合金蒸发料的技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。