标准号:ASTM E1162-2011
中文标准名称:报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程
英文标准名称:Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
标准类型:A43
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:A43
国际标准分类号:71.040.50