标准号:SJ/T 31455-1994
中文标准名称:反渗透装置完好要求和检查评定方法
英文标准名称:Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for reverse osmosis units
标准类型:L97
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:L97
国际标准分类号:31-550
适用范围:本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子工业企业电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。