GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

百检网 2021-08-04

标准号：GB/T 34899-2017
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
标准类型：L55
发布日期：2017/11/1 12:00:00
实施日期：2018/5/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200

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