标准号:KS C 0256-2002
中文标准名称:硅单结晶及硅片的4探针法的抵抗率测定方法
英文标准名称:Testing method of resistivity for silicon crystals and silicon wafers with four - point probe
标准类型:K10
发布日期:2002/5/29 12:00:00
实施日期:2002/5/29 12:00:00
中国标准分类号:K10
适用范围:이 규격은 실리콘 단결정(이하 단결정이라 한다.) 및 실리콘 웨이퍼(이하 웨이퍼라 한다