DIN 50450-1-1987 半导体工艺材料的检验.载运气体和添加剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷电池测定氢、氧、氮、氩和氦中的水杂质

百检网 2021-08-04

标准号：DIN 50450-1-1987
中文标准名称：半导体工艺材料的检验.载运气体和添加剂气体中杂质的测定.用五氧化二磷电池测定氢、氧、氮、氩和氦中的水杂质
英文标准名称：Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
标准类型：G86
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：The standard determines a test method for the determination of water impurity in carrier gases and doping gases (H2, O

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