GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

百检网 2021-08-04

标准号：GB/T 4060-2007
中文标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文标准名称：Polycrystalline silicon.Examination method.Vacuum zone-melting on boron
标准类型：H17
发布日期：2007/9/11 12:00:00
实施日期：2008/2/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
引用标准：GB/T 1551;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 13389;GB/T 14264
适用范围：本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002×10

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