标准号:20204892-T-469
中文标准名称:半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
英文标准名称:Test method for crystalline quality of semiconductor single crystal —— X-ray diffraction method
标准状态:正在起草
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号:77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所
相近标准: 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法; 半导体单晶晶向测定方法;20065620-T-469 半导体单晶晶向测定方法
标准制修订:制订