20202829-T-469 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 正在起草

标准号：20202829-T-469
中文标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
英文标准名称：Test method for contactless resistivity measurement of semi-insulating monocrystalline silicon carbide
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司
相近标准：  半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法;20091221-T-469  碳化硅单晶片直径测试方法;GB/T 30866-20
标准制修订：制订