标准号：GB/T 40109-2021
中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
英文标准名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
标准类型：国家标准
发布日期：2021/5/21 12:00:00
实施日期：2021/12/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：何友琴
相近标准： 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法;20193156-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方
GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
百检网 2021-08-05
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