20200854-T-469 电子特气 三氟化氮 正在批准

标准号：20200854-T-469
中文标准名称：电子特气 三氟化氮
英文标准名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
标准状态：正在批准
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：昊华气体有限公司
起草人：付梦月
相近标准：GB/T 21287-2007  电子工业用气体 三氟化氮;  电子工业用气体 三氟化氮;20051092-T-469  电子工
标准制修订：修订