标准号:20194280-T-469
中文标准名称:洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
标准状态:正在批准
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:江苏嘉合建设有限公司
国际标准分类号:13.040.35
归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中国电子系统工程第二建设有限公司
起草人:王苑
相近标准: 洁净室及相关受控环境 第2部分:用粒子浓度监测提供洁净室空气洁净度的证据;20193268-T-469 洁净室及相关受控环
标准制修订:修订