20204116-T-339 半导体器件 微机电器件 第2部分：薄膜材料的拉伸试验方法 正在起草

标准号：20204116-T-339
中文标准名称：半导体器件 微机电器件 第2部分：薄膜材料的拉伸试验方法
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part2: Tensile testing method of thin film materials
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：31.080.99
归口单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：河北美泰电子科技有限公司
相近标准：  半导体器件 微机电器件 第2部分：薄膜材料的拉伸试验方法;20110876-T-469  半导体器件 微机电器件 MEM
标准制修订：制订