标准号:GB/T 15909-2017
中文标准名称:电子工业用气体 硅烷
英文标准名称:Gas for electronic industry—Silane
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2017/5/31 12:00:00
实施日期:2017/12/1 12:00:00
中国标准分类号:浙江赛林硅业有限公司
国际标准分类号:71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:西南化工研究设计院有限公司
起草人:余京松
相近标准:
;GB/T 15909-2009
;20132257-T-469 电子工业用气体 硅烷