标准号:20184308-T-469
中文标准名称:电子特气 六氟丁二烯
英文标准名称:Electronic specialty gas—1,3-Hexafluorobutadiene
标准状态:正在批准
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
国际标准分类号:71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:浙江省化工研究院有限公司
起草人:付梦月
相近标准: 电子工业用气体 六氟丁二烯;20192246-T-606 六氟丁二烯; 六氟丁二烯;GB/T 8659-2001 丁二
标准制修订:制订