标准号：NF C96-050-2-2006
中文标准名称：半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2 : tensile testing methods of thin film materials.
标准类型：L55
发布日期：2006/11/1 12:00:00
实施日期：2006/11/20 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.080.01
NF C96-050-2-2006 半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
百检网 2021-08-05
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