标准号：GB/T 40110-2021
中文标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
英文标准名称：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型：G04
发布日期：2021/5/21 12:00:00
实施日期：2021/12/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
百检网 2021-08-05
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