标准号:GB/T 39145-2020
中文标准名称:硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称:Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
标准类型:H17
发布日期:2020/10/11 12:00:00
实施日期:2021/9/1 12:00:00
中国标准分类号:H17
国际标准分类号:77.040