20120911-T-609 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法 已发布

标准号：20120911-T-609
中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
英文标准名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：陈潇
相近标准：GB/T 32495-2016  表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法;GB/T 40109-2021  表面化
标准制修订：制订