标准号：LY 1691-2014
中文标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准状态：现行
标准类型：行业标准
发布日期：2014/10/14 12:00:00
实施日期：2015/4/1 12:00:00
中国标准分类号：久智光电子材料科技有限公司等
国际标准分类号：81.040.30
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部
起草单位：上海强华石英有限公司
起草人：张葆青
相近标准：YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉;JC/T 2392.2-2018 石英玻璃碇 第2部分：氢氧焰化学气相沉积法
行业分类：无
LY 1691-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管 现行
百检网 2021-08-06
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