标准号:GB/T 33050-2016
中文标准名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
英文标准名称:Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2016/10/13 12:00:00
实施日期:2017/9/1 12:00:00
中国标准分类号:清华大学分析中心
国际标准分类号:71.040.40
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:北京师范大学分析测试中心
相近标准:20131700-T-469 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率;GB/T 29557-2013