HG/T 4786-2014 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 现行

标准号：HG/T 4786-2014
中文标准名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
标准状态：现行
标准类型：行业标准
发布日期：2015/4/30 12:00:00
实施日期：2015/10/1 12:00:00
中国标准分类号：工业和信息化部电子工业标准化研究院
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：周智慧
相近标准：GB/T 30656-2014  碳化硅单晶抛光片;  碳化硅单晶抛光片;20200799-T-469  碳化硅单晶抛光片;20
行业分类：无