20153783-T-606 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 已发布

标准号：20153783-T-606
中文标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文标准名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司
起草人：耿全荣
相近标准：GB/T 4059-1983  硅多晶气氛区熔磷检验方法;GB/T 4059-2007  硅多晶气氛区熔基磷检验方法;  硅多晶
标准制修订：修订