20142692-T-610 电子工业用气体 四氟化硅 已发布

标准号：20142692-T-610
中文标准名称：电子工业用气体 四氟化硅
英文标准名称：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
标准状态：已发布
标准类型：国家标准
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：佛山市华特气体有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司
起草人：邓建平
相近标准：20110736-T-469  电子工业用气体 四氟化硅;20091224-T-469  电子工业用气体 四氟化碳;  电子工