GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮 现行

标准号：GB/T 21287-2007
中文标准名称：电子工业用气体 三氟化氮
英文标准名称：Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2007/12/14 12:00:00
实施日期：2008/7/1 12:00:00
中国标准分类号：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司
起草人：余启富
相近标准：  电子工业用气体 三氟化氮;20051092-T-469  电子工业用气体 三氟化氮;GB/T 32386-2015  电子工