20090277-T-469 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 已发布

标准号：20090277-T-469
中文标准名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学
起草人：王玮
相近标准：GB/T 28274-2012  硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则;GB/T 32814-2016  硅基MEMS制造技
标准制修订：制订