标准号：GB/T 11073-2007
中文标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
英文标准名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2007/9/11 12:00:00
实施日期：2008/2/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草单位：峨嵋山半导体材料厂
相近标准：
;GB/T 11073-1989
;20031799-T-610 硅片径向电阻率变化的
GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法 现行
百检网 2021-08-06
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