标准号：GB/T 17874-2010
中文标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry - Boron trichloride
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号：上海华爱色谱分析技术有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院
起草人：庄鸿涛
相近标准：
;GB/T 17874-1999
;GB/T 17874-1999 电子工业用气体
GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼 现行
百检网 2021-08-06
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