标准号:20020617-T-469
中文标准名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文标准名称:Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:N33
国际标准分类号:71.040.40
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:清华大学电子工程系
起草人:黄天斌
相近标准:GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法;20110886-T-469 表
标准制修订:制订