20031799-T-610 硅片径向电阻率变化的测量方法 已发布

标准号：20031799-T-610
中文标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
英文标准名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草单位：峨嵋山半导体材料厂
相近标准：GB/T 11073-2007  硅片径向电阻率变化的测量方法;GB/T 11073-1989  硅片径向电阻率变化的测量方法;
标准制修订：修订