20062408-T-469 电子工业用气体 氩 已发布

标准号：20062408-T-469
中文标准名称：电子工业用气体 氩
英文标准名称：Gas for electronic industry - Argon
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：西南化工研究设计院
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京氦普北分气体工业有限公司
相近标准：20132256-T-469  电子工业用气体 丙烯;20132257-T-469  电子工业用气体 硅烷;20062405-T
标准制修订：修订